| 年月日 | 協議状況・経過等 |
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| 2001年5月1日 | 望月町,浅科村は北佐久郡軽井沢町,御代田町,立科町,北御牧村と6町村で研究会「北佐久郡町村会市町村合併問題研究会」設置 |
| 2001年11月 | 佐久市の合併に関する住民アンケート(住民5千人対象)の結果 |
| 合併の是非：「必要(26.4％)」「どちらかといえば必要(35.4％)」「どちらかといえば必要ない(11.2％)」「必要ない(9.4％)」「わからない(17.4％)」 |
| 枠組み(複数回答)：「臼田町(48.9％)」「浅科村(38.3％)」「御代田町(36.7％)」「小諸市(29.7％)」「軽井沢町(16.3％)」「佐久町(15.3％)」「望月町(12.5％)」「八千穂村(10.4％)」など |
| 2002年1月22日 | 望月町,浅科村は立科町,北御牧村と4町村で準備会「川西４ヶ町村合併問題研究会設立準備会」設置 |
| 2002年2月1日 | 臼田町は佐久町,八千穂村と3町村で検討会「南佐久郡北部３カ町村合併検討会」設置 |
| 2002年2月 | 臼田町の合併に関する住民アンケート(住民2千人対象)の結果 |
| 合併の是非：「必要(27.6％)」「どちらかといえば必要(28.9％)」「どちらかといえば必要ない(11.9％)」「必要ない(12.5％)」「わからない(17％)」 |
| 枠組み(複数選択)：「佐久市(58％)」「佐久町(42.2％)」「八千穂村(29.9％)」「小海町(11％)」「川上村(6.7％)」など |
| 2002年2月9日 | 望月町,浅科村は立科町,北御牧村と4町村で研究会「川西４カ町村合併問題研究会」設置 |
| 2002年2月28日 | 佐久市は御代田町と2市町で勉強会「佐久市・御代田町合併勉強会」設置 |
| 2002年3月 | 浅科村の合併に関する住民アンケートの結果 |
| 合併の是非：「必要(32.1％)」「どちらかといえば必要(30.1％)」「どちらかといえば必要ない(16.5％)」「必要ない(14.3％)」 |
| 枠組み(複数選択)：「佐久市(90.3％)」「望月町(27.4％)」「立科町(19.7％)」「御代田町(19.5％)」「小諸市(18.7％)」「北御牧村(16.6％)」「軽井沢町(11.8％)」「臼田町(10.5％)」など |
| 2002年3月19日 | 佐久市,臼田町の2市町で勉強会「佐久市・臼田町合併勉強会」設置 |
| 2002年4月 | 御代田町の合併に関する住民アンケート(住民5千人対象)の結果 |
| 合併の是非：「必要・どちらかといえば必要(59％)」「必要ない・どちらかといえば必要ない(36％)」 |
| 枠組み：「佐久市(25.8％)」「軽井沢町(20.5％)」「佐久市,軽井沢町(18.9％)」 |
| 2002年4月17日 | 「川西４カ町村合併問題研究会」から浅科村が離脱 |
| 2002年4月17日 | 浅科村が佐久市に合併協議を申入れ |
| 2002年5月8日 | 佐久市,浅科村の2市村で勉強会「佐久市・浅科村合併勉強会」設置 |
| 2002年7月3日 | 佐久市,臼田町,浅科村の3市町村で準備会「佐久市・臼田町・浅科村任意合併協議会設立準備会」設置 |
| 2002年7月 | 望月町の合併に関する住民アンケートの結果「北御牧村,立科町(33.6％)」「佐久市(21.1％)」「合併しない(21.1％)」「小諸市(0.5％)」「その他(2％)」「わからない(21.5％)」 |
| 2002年7月23日 | 御代田町が準備会への参加を検討へ |
| 2002年7月27日 | 望月町は立科町との合併を検討へ |
| 2002年8月8日 | 立科町が佐久市に勉強会設置を申入れ |
| 2002年8月12日 | 佐久市は立科町と2市町で勉強会「佐久市・立科町合併勉強会」設置 |
| 2002年8月13日 | 佐久市,望月町の2市町で勉強会「佐久市・望月町合併勉強会」設置 |
| 2002年8月19日 | 御代田町が「佐久市・臼田町・浅科村任意合併協議会設立準備会」に参加を申入れ |
| 2002年8月20日 | 望月町は立科町と2町で研究会「望月町・立科町合併勉強会」設置 |
| 2002年8月26日 | 佐久市,臼田町,浅科村,御代田町の4市町村で任意協議会「佐久市・臼田町・浅科村・御代田町任意合併協議会」設置 |
| 2002年9月9日 | 小諸市が単独市制継続を表明 |
| 2002年9月 | 軽井沢町の合併に関する住民アンケートの結果 |
| 合併の是非：「必要・どちらかというと必要(1割強)」「必要ない・どちらかというと必要ない(8割強)」 |
| 枠組み：「御代田町(約75％)」 |
| 2002年11月 | 立科町の合併に関する住民アンケートの結果 |
| 合併の是非：「積極的に進める(9.5％)」「どちらかといえば進める(29.1％)」「どちらかといえば進めるべきでない(20.3％)」「進めるべきではない(14.3％)」「わからない(22.1％)」 |
| 合併対象自治体(複数回答)：「佐久市(58.4％)」「望月町(42.9％)」「東部町(10.5％)」「丸子町(7.7％)」「茅野市(7.3％)」「長門町(6.9％)」 |
| 枠組み：「佐久市(35.4％)」「望月町(20.3％)」「佐久市,望月町(12.6％)」「東部町(3％)」「茅野市(3％)」「佐久市,東部町(2.4％)」 |
| 2003年9月 | 合併に関する住民アンケートの結果 |
| 佐久市：「賛成(43％)」「どちらかといえば賛成(18.6％)」「どちらかといえば反対(7.8％)」「反対(15.7％)」「わからない(15％)」 |
| 浅科村：「賛成(41.4％)」「どちらかといえば賛成(23.3％)」「どちらかといえば反対(15.4％)」「反対(17.3％)」 |
| 臼田町(合併の是非)：「必要(38.3％)」「どちらかといえば必要(24.7％)」「どちらかといえば必要ない(5.5％)」「必要ない(22.6％)」「どちらとも言えない(8.9％)」 |
| 臼田町(枠組み)：「佐久市,浅科村,御代田町(69.5％)」「佐久町,八千穂村(30.5％)」 |
| 御代田町：「賛成(20.3％)」「反対(53.1％)」「どちらとも判断できない(25.9％)」 |
| 2003年9月22日 | 御代田町が合併協議から離脱を表明 |
| 2003年9月26日 | 御代田町が離脱 |
| 2003年10月6日 | 佐久市,望月町の2市町で勉強会設置 |
| 2003年10月 | 立科町の合併の是非を問う住民アンケートの結果 |
| 合併の是非：「合併すべき(30.3％)」「自立すべき(67.5％)」 |
| 枠組み：「佐久市,望月町(34.9％)」「佐久市(28.1％)」「望月町(26.1％)」 |
| 2003年10月29日 | 立科町は単独町制継続を表明 |
| 2003年11月 | 望月町の合併に関する住民アンケートの結果「佐久市(40.1％)」「合併しない(44％)」「わからない(14.8％)」 |
| 2003年11月21日 | 望月町は佐久市との合併を検討へ |
| 2003年11月25日〜12月15日 | 臼田町で南佐久郡佐久町,八千穂村と3町村での法定協議会設置を求める住民発議,3町村が否決し不成立 |
| 2003年11月25日 | 望月町が参加を申入れ |
| 2003年12月6日 | 望月町が加入 |
| 2003年12月22日 | 4市町村で法定協議会設置 |
| 2004年7月11日 | 望月町の合併の是非を問う住民投票の結果「賛成(63.2％)」「反対(36.8％)」 |
| 新市名：佐久市(さくし) |
| 市役所：佐久市役所 |
| 2004年8月23日 | 合併協定調印式 |
| 2004年8月30日 | 合併関連議案を4市町村が可決 |
| 2004年12月22日 | 合併関連議案を長野県議会が可決 |
| 2005年1月24日 | 官報告示 |
